- 액체상에 부유하고 있는 미립자(오염물질)의 크기와 개수를 측정하 는 장비
- 표면처리 및 세정 전/ 후 발생하는 미립자(오염물질) 측정가능
- 초전도가속관 내부표면의 잔류 불순물을 고압수세 하여 제거하여 0.2~2.0um 크기의 불순물(Particle)들을 측정 및 정량을 분석하여, 초전도가속관의 내부표면 세척 시간을 판단하기 위한 장비"
구성 및 성능
1. Liquid Particle Counter system - Particle sensor Meas. size : 0.2 ~ 2㎛ - Flow rate : 20mL/min - Operating time : 1h 이상 - Temp. range of sample : 10~50℃ - User selectable Channels : 15 channels - Sampling period : 1~10min - Max. sampling concentration : 10,000 pcs/mL - Volume accuracy : >95% - Flow rate accuracy : >95% - Cell : Sapphire, Teflon, Kalrez or Kel-F - Light Source : Laser diode - Syringe size : 10mL(1,5,25mL)
2. System software : SamplerSight
3. Laptop
사용예
-반도체 및 공정 화학물질 제조에 다양한 적용
-공정 화학물질의 인커밍 품질 측정
-공정 도구에 대한 시점 모니터링
-화학적 구성품의 시험과 자격
-아웃고잉 화학물질 자격 시험
-기계적 부품 청결 검사