IRIS 연구장비정보시스템

장비 소개

장비설명(기능)

○ UV에너지(350 ~ 450nm파장 영역)를 이용한 노광기로 마스크(5,7inch)를 장착 하여, 웨이퍼(4,6in)상에 1:1로 패턴을 Align 및 UV를 전사 할 수 있는 노광 장비임. 또한, 전용 척을 이용하여 조각 샘플도 정렬하여 노광할 수 있어 샘플 사이즈에 구애 받지 않고 성능을 발휘 할 수 있음. 또한, 노광되는 샘플의 각도 및 회전 기능을 이용하여 다양한 3D 형태의 Polymer pattern을 구현 가능 함. ○ 노광되는 샘플의 기울임 각도 및 회전 각도를 조정함으로써, 적용 시키고자 하는 연구에 보다 적합한 3D 형태의 polymer pattern을 구현할 수 있음. 특히 이러한 3D pattern의 구현은 희귀 세포 포획을 위한 삼차원 구조의 다공성 막, 생체 환경 모사를 이용한 세포의 움직임 연구 및 자연모사 구조체를 이용한 다양한 분야로의 적용에 필수적인 요건임.

구성 및 성능

가. 특성 1. 마스크와 시편과 정렬 오차가 정밀 해야 한다. Accuracy 1um 2. 패턴 해상도가 높아야 한다. Max resolution : 1um 3. 평행광이 조사되어야 한다. 평행광 각 오차가 ±1° 4. 자외선이 균일하여 높은 재현성이 구현되어야 한다. 균일도가3%를 초과 하지 않아야 한다. 5. 사용자의 조작 편의상 Software를 보유한 PC Control system이어야 한다. 6. 샘플 스테이지가 Tilting의 기능을 가지고 있어야 한다. Max. 60 7. 샘플 스테이지가 전동식회전 시스템을 적용 되어야 한다. Rotation angle : 360 나. 성능 # Specification A. Light source module -Lamp type : Mercury Short arc lamp (350W) -Wavelength : 350nm to 450nm -Max. beam size : 6.25 in. x 6.25in. -365nm Intensity : > max 25mW/cm2 -Beam uniformity : <±3% (4inch) B. Microscope - Dual CCD zoom microscope - Objective spacing : 60 ~ 100mm - Move range : Y Axis±20mm - Magnification : 90x ~ 500x C. Stage and controller module - Exposure timer : 0.1 sec to 6000sec - Stage movement : X,Y,Z and Theta , X, Y : 10 mm, Theta : ±4°,Z Motion travel : 10 mm - Contact mode : Vacuum, Hard, Soft Contact & Proximity(Gap controllable) Vacuum & Hard contact (Force controllable) - Alignment accuracy : <±1.0 micron - Vacuum / Pneumatic Controls : Substrate, Mask, Chuck lock & Contact D. Resolution - Vacuum Contact : 1um < Thin PR(Thickness1um) @ Full size Si Wafer> - Hard (Pressure) Contact : 2um - Soft contact : 3um - 20um Proximity : 5um E. Vibration Isolation Table - Isolation size : 1000 x 1000 x 20t - Top Skin : SUS 304 H/L - Height : 750 mm ( From Floor To Top ) - leveling : 3- Point self leveling - Natural Frequency : Vertical : 1.2 ~ 1.5 Hz , Horizontal : 1.5 ~ 1.8Hz - 사각 arm Rest 부착 - Under Shelf 부착 - Air : >5kgf/㎠

사용예

1. 희귀 세포 포획을 위한 고성능 다공성 막 제작, 포획된 희귀 세포의 생물학적 분석 2. 비대칭성 미세구조체가 세포의 움직임에 미치는 영향에 대한 분석 및 물리적 이해. 그를 위한 생체 환경 구조체 모사 연구. 3. 자연모사된 구조체를 제작 및 구조체의 다양한 분야로의 적용.